【摘要】
自紫外激光出現(xiàn)以來，準分子激光光器在紫外線“冷加工”應(yīng)用領(lǐng)域占主導地位，但是，準分子技術(shù)也存在著很多缺陷：所有的準分子激光均含有有毒氣體，特殊氣體的更換、貯存、調(diào)節(jié)過程十分繁瑣。同時，它們體積大，價格昂貴，操作和維護成本高；
自紫外激光出現(xiàn)以來，準分子激光光器在紫外線“冷加工”應(yīng)用領(lǐng)域占主導地位，
但是，準分子技術(shù)也存在著很多缺陷：所有的準分子激光均含有有毒氣體，特殊氣體的更換、貯存、調(diào)節(jié)過程十分繁瑣。
同時，它們體積大，價格昂貴，操作和維護成本高；
不但如此，準分子激光輸出端還存在著方矩形大、空間質(zhì)量差等問題，嚴重地限制了光束的聚焦，因而必須采用掩模模板。
準分子激光器對于一步鉆出相同形狀的孔和重復(fù)性(如加工噴墨打印機磁鼓噴嘴上的孔)有很好的工作，但一般來說效率不高，只有1%的脈沖能作用于加工表面，而其他約99%的光能在模板上流失。
另外，掩模法的靈活性有限，如果圖形變化需要更換掩模板，整個加工過程必須停止。
固體紫外激光器的應(yīng)用一直受到輸出功率不足的限制，不能滿足加工需要。
隨著更可靠的半導體泵固體技術(shù)和更可靠的三倍頻機制的發(fā)展，情況發(fā)生了變化。
新的三倍頻半導體泵固體激光成為準分子激光的競爭對手，能量密度水平相當，但重復(fù)頻率更高，光束質(zhì)量更好。
良好的光束質(zhì)量和卓越的聚焦能力使您能夠擺脫掩模板進行加工。光束通過計算機控制的掃描振動鏡系統(tǒng)傳輸?shù)焦ぷ髋_的任何位置），并使用CAD/CAM軟件通過直接雕刻進行鉆孔、刻線或切割。
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