【摘要】
激光劃線包括許多術(shù)語，包括微劃線和薄膜劃線，用于創(chuàng)建精確控制的精細(xì)凹槽或?qū)⒓?xì)線寫入薄膜和涂層。激光能量可以通過以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過掩模成像以將圖案投影到表面上。
激光劃線和薄膜劃線非常適合在各種基材、薄膜和涂層上創(chuàng)建細(xì)線和其他盲特征和圖案。
激光劃線包括許多術(shù)語，包括微劃線和薄膜劃線，用于創(chuàng)建精確控制的精細(xì)凹槽或?qū)⒓?xì)線寫入薄膜和涂層。激光能量可以通過以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過掩模成像以將圖案投影到表面上。激光劃線的使用允許在材料表面和通過去除多層基板中的一層或多層來非常精確地寫入精細(xì)特征。
通過使用精密激光加工，可以選擇性地瞄準(zhǔn)薄膜器件（如電容器和電池）中的各個(gè)層，從而創(chuàng)建高度通用的圖案化工藝?？梢哉{(diào)整激光工藝以從另一層或從下面的襯底去除一個(gè)沉積層，這對(duì)于薄膜電容器生產(chǎn)中的隔離劃線處理至關(guān)重要。通過仔細(xì)選擇激光類型和工藝參數(shù)，幾乎可以對(duì)任何材料進(jìn)行刻劃，包括高反射性或透明材料。
大多數(shù)材料都可以實(shí)現(xiàn)精確控制結(jié)構(gòu)的激光劃線和選擇性層處理，包括透明基板上的透明涂層，例如用于顯示器和光伏行業(yè)的那些。選擇性激光加工還允許去除金屬層和涂層，而對(duì)下面的基材進(jìn)行很少或不進(jìn)行加工。可以編寫非常細(xì)的線條來創(chuàng)建高密度電路和功能或裝飾圖案?？梢詫?duì)柔性和剛性材料上的薄氧化層進(jìn)行激光刻劃，以確定導(dǎo)電和非導(dǎo)電區(qū)域。
薄膜激光劃線也可用于修改涂層材料的功能特性，例如修改電阻或反射率。
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